Trung Quốc sản xuất thành công hydro florua siêu tinh khiết cho ngành bán dẫn
Thành tựu này giúp Trung Quốc chủ động nguồn cung nguyên liệu được xem là "dao khắc hóa học" trong chế tạo chip tiên tiến, giảm phụ thuộc vào các doanh nghiệp nước ngoài và tăng tính tự chủ cho chuỗi cung ứng bán dẫn nội địa.
Hydro florua (HF) siêu tinh khiết là loại hóa chất không thể thiếu trong các công đoạn khắc và làm sạch wafer bán dẫn, đặc biệt phục vụ cho quy trình sản xuất các loại chip tiên tiến từ 28 nm trở xuống. Với vai trò quan trọng này, HF siêu tinh khiết được coi là vật liệu cốt lõi và là nguyên liệu chiến lược trong ngành công nghiệp vi mạch.
Trong nhiều năm qua, vật liệu này được xem là một trong những "nút thắt cổ chai" của ngành sản xuất chip tại Trung Quốc. Phần lớn các sản phẩm sản xuất trong nước trước đây chỉ dừng lại ở cấp 5N, tương đương độ tinh khiết 99,999%. Trong khi đó, công nghệ sản xuất vật liệu cấp 6N đạt độ tinh khiết 99,9999% gần như nằm trong tay các nhà sản xuất nước ngoài. Bước tiến mới của Tập đoàn Binzhou đã chấm dứt tình trạng độc quyền công nghệ của các doanh nghiệp quốc tế đối với sản phẩm này.
Ảnh minh họa
Theo đánh giá của giới chuyên môn, sự khác biệt tưởng chừng rất nhỏ về độ tinh khiết giữa cấp 5N và 6N lại có ý nghĩa quyết định đối với hiệu suất sản xuất chip. Chỉ cần hàm lượng tạp chất kim loại tăng thêm vài phần tỷ (ppb), tỷ lệ chip đạt chuẩn trong quá trình sản xuất có thể bị giảm đi đáng kể.
Ông Liu Teng, Tổng giám đốc bộ phận hóa chất đặc biệt của Binzhou, cho biết việc nâng thêm một chữ số "9" trong chỉ số độ tinh khiết không đơn thuần là cải thiện về mặt thông số kỹ thuật, mà ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của sản phẩm bán dẫn. Sản phẩm hydro florua siêu tinh khiết mới của doanh nghiệp đã đạt các tiêu chuẩn quốc tế hàng đầu khi hàm lượng ion kim loại được kiểm soát dưới ngưỡng 1 ppb.
Cùng với việc kiểm soát nghiêm ngặt hàm lượng tạp chất kim loại, Tập đoàn Binzhou đã giải quyết bài toán ngăn ngừa nhiễm bẩn thứ cấp trong toàn bộ quá trình sản xuất, lưu trữ và vận chuyển. Điều này tạo nền tảng để sản phẩm đáp ứng đầy đủ các yêu cầu khắt khe của ngành chế tạo chip tiên tiến.
Hiện tại, Tập đoàn Binzhou đã hoàn thành dây chuyền chiết nạp hydro florua siêu tinh khiết với công suất 50 tấn mỗi năm. Vào ngày 17/7, doanh nghiệp này đã được cơ quan chức năng tỉnh Sơn Đông cấp giấy phép chiết nạp, chính thức hoàn tất các điều kiện pháp lý và kỹ thuật cần thiết để tiến hành sản xuất, đóng gói và thương mại hóa sản phẩm trên thị trường.
Sự xuất hiện của dây chuyền sản xuất này được các chuyên gia nhận định sẽ giúp Trung Quốc có nguồn cung ổn định đối với loại vật liệu sử dụng trong các dây chuyền sản xuất chip 28 nm và các quy trình tiên tiến hơn. Thành tựu này góp phần tăng cường tính tự chủ cũng như khả năng chống đứt gãy của chuỗi cung ứng bán dẫn trong nước trước những biến động của thị trường toàn cầu.
Phạm Tuấn